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本文综述了生物／化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺．给出了基本化学传感器原理和对应的化学／生物传感器应用实例，最后提出了单片集成化学／生物微传感器系统，包括单一芯片上传感器结构和运转电路。
生物／化学微传感器技术和应用（一）
【摘 要】
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本文综述了生物／化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺．给出了基本化学传感器原理和对应的化学／生物传感
【机 构】
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洛阳理工学院,洛阳理工学院自动化系
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2008年10期
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