微静电开关双模态内共振动力学

来源 :天津师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：shoretxm

【摘要】

：

在微型电子机械系统(MEMS)中，多种非线性因素严重影响其力学特性．本文对一种具有典型结构的两端固定梁型微静电开关，考虑机械、静电及挤压气隙三部分因素，在电压变化情况下，用数值

【作者】

：

陶志军吴志强刘利琴王春鸽金长久

【机构】

：

天津大学机械学院,天津三达铸造有限公司,天津撒布浪斯探测仪器有限公司

【出处】

：

天津师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

微电子机械系统内共振静电开关 micro-electromechanical systems(MEMS) internal resonance elec

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在微型电子机械系统(MEMS)中，多种非线性因素严重影响其力学特性．本文对一种具有典型结构的两端固定梁型微静电开关，考虑机械、静电及挤压气隙三部分因素，在电压变化情况下，用数值模拟研究了系统中的1：2内共振动力学．研究表明：当电压值比较小时，系统中存在复杂的动力行为，若此时同时有外激共振发生则开关接通时间增长．

其他文献

浅析CT、B超检查对甲状腺癌的诊断意义

目的分析CT、B超检查对甲状腺癌的诊断意义以及临床诊断效果。方法将我院2013年2月至2015年2月间收治的病理确诊为甲状腺癌患者20例,对所有患者分别实施B超检查以及CT检查,对

期刊

CT检查B超检查甲状腺癌诊断意义

广义模糊Choquet积分的自连续性

在一般模糊测度空间的任一子集上,对给定的μ-可积模糊值函数,定义了广义模糊Choquet积分,并将这种积分整体看成可测空间上的模糊值集函数,进而讨论它的上(下)自连续性和一致

期刊

广义模糊Choquet积分μ-可积模糊值函数一致上(下)自连续μ-integrable fuzzy valued functions generaliz

矿井2K60主扇改造技术经济分析

期刊

矿井通风机主扇技术改造技术经济