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对不同基体上采用直流气体放电话化反应蒸发沉积法（ＤＣ－ＧＤＡＲＥ）制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明：不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。
基体对SnO_2 UPF成膜结构的影响
【摘 要】
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对不同基体上采用直流气体放电话化反应蒸发沉积法（ＤＣ－ＧＤＡＲＥ）制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明：不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。
【机 构】
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淮北煤炭师范学院物理系,华东理工大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1998年4期
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