二元不互溶Cu—Ta体系非晶相的形成

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong504

【摘要】

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利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶

【作者】

：

黄昌清隋曼龄

【机构】

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中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家（联合）实验室

【出处】

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材料研究学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

金属材料 Cu-Ta非晶相共溅射薄膜高分辨透射电子显微术不互溶体系 Binary alloys Copper alloys Crystal microst

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.

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