同步加速器独立远紫外线显微镜

来源 :军民两用技术与产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jtfcyy

【摘要】

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德国费拉恩豪佛法理社会公司开发出一种分辨率达50nm的同步加速器独立远紫外线（EUV）显微镜。该仪器是专门为半导体工业开发的，因为半导体工业正在发展波长11nm～14nm的EUV激光束集

【作者】

：

爱莲

【出处】

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军民两用技术与产品

【发表日期】

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2005年10期

【关键词】

：

同步加速器远紫外线显微镜半导体工业工业开发集成电路 UV辐射等离子源光学系统

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德国费拉恩豪佛法理社会公司开发出一种分辨率达50nm的同步加速器独立远紫外线（EUV）显微镜。该仪器是专门为半导体工业开发的，因为半导体工业正在发展波长11nm～14nm的EUV激光束集成电路。激光束是由同步加速器产生的。EUV显微镜与同步加速器独立，因为其通过脉冲等离子源产生自身的EUV辐射，功率很小。光学系统由聚光器、

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