PDMS微流控光纤芯片的研制

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lxhldc

【摘要】

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用集成在芯片上的光纤作为激发光源,可使激发光斑的大小与微流控沟道的深度尺寸相接近,提高了检测灵敏度,省去了光学聚焦系统.利用二次曝光的方法制作了PDMS光纤芯片,实现了

【作者】

：

苏波崔大付刘长春陈兴王海宁

【机构】

：

中国科学院电子学研究所

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

聚二甲基硅氧烷(PDMS) 光纤芯片微流控沟道 PDMS （polydimethylsiloxane） fiber chip microfluidic

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用集成在芯片上的光纤作为激发光源,可使激发光斑的大小与微流控沟道的深度尺寸相接近,提高了检测灵敏度,省去了光学聚焦系统.利用二次曝光的方法制作了PDMS光纤芯片,实现了光纤与沟道的对准.对PDMS光纤芯片的加工工艺、封装方法和结构特征进行了探讨.用所制作的芯片对FITC(异硫氰酸荧光素)和以FITC标记的氨基酸进行了检测,结果证明了该芯片的可行性.

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