【摘 要】
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评述X射线多层反射膜原理、现状和问题。讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜。
Comment on the principle, current situation and problems of
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评述X射线多层反射膜原理、现状和问题。讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜。
Comment on the principle, current situation and problems of X-ray multilayer reflection film. The mirrors used for projection X-ray lithography and X-ray tube discharge repetition rate lasers are discussed.
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