【摘 要】
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柔性传感器因其柔软、易加工等优点,常被用到航天、医疗等各个领域。如何提升其电性能和灵敏度已成为人们重点关注和研究的问题。挠曲电效应作为一种有效的机电耦合效应常常被人们忽视。本文利用Comsol软件,模拟一种基于截顶圆锥结构的微纳图案,通过结构中应变梯度的增大,引入挠曲电效应,使聚偏氟乙烯薄膜的表观压电特性提升了14倍。同时进一步探究截顶圆锥的上半径r与挠曲电效应的关系,阐明微纳结构形状影响应变梯度
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柔性传感器因其柔软、易加工等优点,常被用到航天、医疗等各个领域。如何提升其电性能和灵敏度已成为人们重点关注和研究的问题。挠曲电效应作为一种有效的机电耦合效应常常被人们忽视。本文利用Comsol软件,模拟一种基于截顶圆锥结构的微纳图案,通过结构中应变梯度的增大,引入挠曲电效应,使聚偏氟乙烯薄膜的表观压电特性提升了14倍。同时进一步探究截顶圆锥的上半径r与挠曲电效应的关系,阐明微纳结构形状影响应变梯度和提升传感器电性能的原理。
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