【摘 要】
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用直流磁控溅射在钢基体上交替溅射制备了MoSx/MoSx-Mo纳米多层膜.采用划痕仪测试薄膜与基体的结合力;采用SEM和XRD分析了纳米多层膜的形貌和显微结构;在球-盘式微摩擦试验机上测试了纳米多层膜在真空和潮湿空气中的摩擦学性能.结果表明,纳米多层膜的结合力优于纯MoS2膜.随着溅射沉积气压的升高,MoSx(002)面择优取向减弱,纳米多层膜的结合力下降.溅射气压0.24Pa沉积的纳米多层膜在真
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程系,浙江,杭州,310027 上海交通大学材料科学与工程学院,上海,2000
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用直流磁控溅射在钢基体上交替溅射制备了MoSx/MoSx-Mo纳米多层膜.采用划痕仪测试薄膜与基体的结合力;采用SEM和XRD分析了纳米多层膜的形貌和显微结构;在球-盘式微摩擦试验机上测试了纳米多层膜在真空和潮湿空气中的摩擦学性能.结果表明,纳米多层膜的结合力优于纯MoS2膜.随着溅射沉积气压的升高,MoSx(002)面择优取向减弱,纳米多层膜的结合力下降.溅射气压0.24Pa沉积的纳米多层膜在真空和潮湿空气中都呈现出最低的摩擦因数和磨损率,具有优异的环境摩擦磨损特性.
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