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准分子激光器进展与微加工准分子激光器能够在几个紫外波长上提供短脉冲的高峰值功率输出，这使其在材料加工、科学研究和医学等各种应用领域具有吸引力。在近几年中，准分子激光器制造商在准分子制造技术方面获得了重要进展，大大地改善了它的性能、可靠性和实用性，同时...
准分子激光器进展与微加工
【摘 要】
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准分子激光器进展与微加工准分子激光器能够在几个紫外波长上提供短脉冲的高峰值功率输出，这使其在材料加工、科学研究和医学等各种应用领域具有吸引力。在近几年中，准分子激光
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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1995年3期
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