论文部分内容阅读
本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇（Y）对CrAlTiN薄膜硬度的影响。并应用原子力显微镜（AFM）、能谱仪（EDS）、纳米压入仪、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明，CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得灿元素单位时间内沉积量提高，CrAlTiN薄膜晶粒细化，薄膜的表面相由CrN、Cr2N向Cr逐渐变化。当Y〈0．84％时CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低；当Y〉0．84％时CrAlTiN薄膜的硬度随着Y含量的升高而升高。