论文部分内容阅读
本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇(Y)对CrAlTiN薄膜硬度的影响。并应用原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、纳米压入仪、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得灿元素单位时间内沉积量提高,CrAlTiN薄膜晶粒细化,薄膜的表面相由CrN、Cr2N向Cr逐渐变化。当Y〈0.84%时CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低;当Y〉0.84%时CrAlTiN薄膜的硬度随着Y含量的升高而升高。