化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量(英文)

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报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量,提出了监控金刚石薄膜生长的激 光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量, 精确监控了金刚石薄膜的生长厚度 , 成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。 The in-situ reflectance measurement of CVD diamond films was reported. A mathematical model of laser-reflected multi-beam interference monitoring the growth of diamond films was proposed. Through the in situ reflectance measurement, the thickness of the diamond film was accurately monitored and the AR coating was successfully prepared. The measuring device of this method is simple, compact and reliable.
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