【摘 要】
：
在深入探讨DMD（Digital Mirror Device）灰度图形传递的特点基础上，把曝光量分布作为分析数字光刻成像的物理量，建立了数字灰度光刻的成像模型．以制作微米量级微透镜为例，通过模拟分
【机 构】
：
四川大学物理学院,中国科学院光电技术研究所
论文部分内容阅读
在深入探讨DMD（Digital Mirror Device）灰度图形传递的特点基础上，把曝光量分布作为分析数字光刻成像的物理量，建立了数字灰度光刻的成像模型．以制作微米量级微透镜为例，通过模拟分析，讨论了数字光刻过程中DMD的工作方式、成像系统参量对抗蚀剂曝光量分布的影响，揭示了数字灰度光刻成像机理，为开展数字光刻实验研究提供了理论根据．
其他文献
本文认为,互联网及其特点既给高校思想政治工作带来挑战,又带来机遇,提出要认真研究网络环境下高校思想政治工作的特点和规律,积极探索进一步加强和改进高校思想政治工作的新
【中图分类号】I512 不同版本的教参，对《套中人》主人公别里科夫的定位，几乎都是：19世纪俄国专制制度的维护者、沙皇的义务警犬，其灵魂丑陋，思想腐朽，言行可鄙，他的存在代表邪恶势力对正义、自由、平等的钳制，他的灭亡象征着落后、反动制度的终将灭亡。这个理解有道理，但未必全面，为什么这样讲呢？首先从它有道理这个方面来说。 小说创作于1898年，根据课文中别里科夫“把整个中学辖制了足足十五年”的信
2008年国际金融危机被公认为继20世纪30年代大萧条后影响最为深远的一次金融危机,其复苏进程的反复曲折引发了学术界对于危机起因和后续发展的广泛关注和讨论。通过对危机期
上高中的时候,我在学生委员会里担任校报编辑,并且赢得了两项全国新闻大奖。我一直都专注于要成为一名杂志编辑的理想,因此我从不浪费时间去虚情假意地与别人交好——我真的
[背景]胃癌(GC)是消化系统中最常见的恶性肿瘤之一,其发病率和死亡率分别在全球恶性肿瘤中排名第四和第二[1]。在中国,新发胃癌的年发病约为679,000人,胃癌死亡人数每年高达4
在<解析几何>课程教学中,立足于强化学生的数学素质,培养学生的应用意识,针对教学内容、教学方法以及教学手段进行改革创新.
小查得是一个害羞、文静的小伙子。一天他回到家,告诉妈妈他想给班上每个同学做一份情人节礼物。妈妈的心一沉,心想:“我不想他这样做!”固为她看见过孩子们放学回家的情形,
新鲜词 衣Q：所谓“衣Q”，是比照“IQ智商”、“EQ情商”之类最新出现的一个词语，指一个人穿着和搭配衣服的能力。 @新浪微博：据美国一项调查显示，绝大部分女人愿意15个月不Make Love，以此交换一柜子新衣服。这说明，在男人心里，兄弟如手足，女人如衣服。在女人心里，男人连衣服都不如…… IN词库 当别人说你奥特曼（outman）的时候，不是在赞美你拥有打败小怪兽、拯救世界
最近开机启动很慢，不知道怎么回事，我想调整自己的开机时间，该如何操作？
国贸桥一期异型板结构采用粘贴钢板的方法对桥梁上部结构实施大范围结构加固,该工程是北京地区首次在桥梁复杂异型板区域实施的粘钢板加固工程,通过项目的实施,有效地提高了