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根据ＥＬ２分布的热处理行为Ａｓ沉淀分布特征的实验结果，讨论了Ａｓ沉淀对ＥＬ２分布的影响和热处理改善ＥＬ２分布均匀性的机理。
热处理改善未掺杂LEC GaAs中EL2分布均匀性机理的研究
【摘 要】
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根据ＥＬ２分布的热处理行为Ａｓ沉淀分布特征的实验结果，讨论了Ａｓ沉淀对ＥＬ２分布的影响和热处理改善ＥＬ２分布均匀性的机理。
【机 构】
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河北工学院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1994年1期
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