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通过对真空电弧淀积的ＴｉＮ薄膜中单个宏观颗粒进行ＳＥＭ观察，分析了颗粒自身形貌及其与连续薄膜之间的相互作用。并基于界面能量理论，分析了颗粒膜生长过程中自身发展倾向、与外来粒子的相互碰撞以及与基片、连续膜之间的界面作用，从而揭示出薄膜中颗粒的生长规律。
VAD制备TiN膜中宏观颗粒生长特性分析
【摘 要】
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通过对真空电弧淀积的ＴｉＮ薄膜中单个宏观颗粒进行ＳＥＭ观察，分析了颗粒自身形貌及其与连续薄膜之间的相互作用。并基于界面能量理论，分析了颗粒膜生长过程中自身发展倾向、与外来粒子的
【机 构】
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北京大学重离子物理研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年4期
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