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近日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所副研究员高俊华和研究员曹鸿涛提出了金属陶瓷超材料薄膜制备新方法，采用传统的射频共溅射沉积工艺，辅以衬底偏压，制备了定向排布Ag金属纳米线，氧化铝陶瓷复合超材料薄膜，纳米线间距（轴心到轴心）进入sub-5nm区间，阵列中纳米线平均直径约为3nm。
宁波材料所提出金属陶瓷超材料薄膜制备新方法
【摘 要】
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近日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所副研究员高俊华和研究员曹鸿涛提出了金属陶瓷超材料薄膜制备新方法，采用传统的射频共溅射沉积工艺，辅以衬底偏压，制备了定向排布Ag金属
【机 构】
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《航空制造技术》编辑部
【出 处】
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航空制造技术
【发表日期】
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2017年6期
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