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室温沉积碳氮薄膜的成键分析
室温沉积碳氮薄膜的成键分析
来源 :河北师范大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chen009123
【摘 要】
:
在前文对碳氮薄膜结构研究的基础上,分析了室温沉积碳氮薄膜的成键状况。结果发现,氮、碳XPS结合能之差随氮碳原子比的增加而线性地减小;碳、氮峰可以分解为若干个子峰,但与化合物C3N4难
【作 者】
:
赵敏学
【机 构】
:
中国人民武装警察部队学院科研所
【出 处】
:
河北师范大学学报
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
薄膜
碳氮化合物
成键分析
沉积
室温
检测
film
carbon nitride
Xray photoelectron spectroscopy
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在前文对碳氮薄膜结构研究的基础上,分析了室温沉积碳氮薄膜的成键状况。结果发现,氮、碳XPS结合能之差随氮碳原子比的增加而线性地减小;碳、氮峰可以分解为若干个子峰,但与化合物C3N4难以建立明显的联系。红外吸收和喇曼散射显示出类似的结果。因此,应对碳氮薄膜的检测结果持更审慎的态度。
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