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利用表面微机械技术，成功制作了1．3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器。原型器件在50V的调谐电压下，调谐范围为90nm。该技术可以用于制作1．3μm Si基可调谐光探测器。
具有90nm调谐范围的1．3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器
【摘 要】
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利用表面微机械技术，成功制作了1．3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器。原型器件在50V的调谐电压下，调谐范围为90nm。该技术可以用于制作1．3μm Si基可调谐光探测器。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年11期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划(No.G2 0 0 0 0 3 660 3 ),,国家自然科学基金(批准号:9610 40 0 3 ),,国家高技术研究发展计划 (No.2 0 0 2 AA3 12 0 10 )资助项目~~
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