WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究

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对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究。结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态WOx薄膜为非晶光晕衍射特性。STM分析得知,电致变色反应使薄膜的表面形貌也发生了剧烈的变化。
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