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WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究
WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究
来源 :材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lv0550159
【摘 要】
:
对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究。结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态
【作 者】
:
燕峰
王晓光
【机 构】
:
鞍山钢铁学院,沈阳真空技术研究所
【出 处】
:
材料工程
【发表日期】
:
1999年5期
【关键词】
:
电致变色反应
晶体特性
HREM
STM
薄膜
electrochromism(EC)crystal propertyHREMSTM
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对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究。结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态WOx薄膜为非晶光晕衍射特性。STM分析得知,电致变色反应使薄膜的表面形貌也发生了剧烈的变化。
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