【摘 要】
：
基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加
【机 构】
：
重庆大学新型微纳器件与系统技术重点学科实验室,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
【基金项目】
：
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放课题基金资助项目(KF130006);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20120191120022)
论文部分内容阅读
基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加速度计温度漂移。为此,提出一种具有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计。通过缓冲折叠梁和内支撑框架的优化组合,使热应力难以传递到扭转梁上,从而有效降低加速度计的温度漂移。使用ANSYS软件对加速度计进行了模态和热应力分析,结果表明：工作模态的固有频率为1 352 Hz,远小于其他干扰模态的频率;加速度计的灵敏度为0.386pF/g（g=9.8m/s
其他文献
<正>冬至阳又生,瑞世唱新歌。党的十八届三中全会专题研究全面深化改革若干重大问题并作出重要决定,是我们党坚定不移高举改革开放大旗的重要宣示和体现,是全面深化改革的又
教材上的该实验是在铁架台上吊一个平衡杠杆.该装置笨重,不易提携;平衡杠杆难找;难糊纸袋.本人将该实验作了改进,装置如右图:
采用问卷调查法,选取294名高一学生为研究对象,探讨高中生伴性遗传的多重表征转换能力与生物学学习方式的相关性,以期为提高学生的多重表征转换能力提供更好的学法指导。结果
<正> 目前市售的单显双频PC机已有许多种类,如海华PC、长城PC、SUPER XT/PC等。这些PC机一般都不带硬盘,价格比较低,很受消费者的欢迎。其中有一部分已经进入家庭。如何更有
【正】 伟大的共产主义战土鲁迅,在他的光辉的战斗一生中,不仅重视而且善于开展批评或斗争。他的杂文,特别后期的杂文,大部分是对付敌人的,但也有相当一部分,是批评人民内部
无损检测技术(NDT--Nondestructive Testing)即为一种利用声学、磁学、光学、电学的基本特性,是以不破坏被检测对象,保证材料性能的安全与质量的前提下,使材料使用寿命延长的
在案例法教学中,"案例"就是一种有特殊目的的任务,可以采用各种现代手段和方式去解决问题,换句话说,"案例"是一种活动,在活动中学习者运用各种手段去实践,以便得出自己的结论
【正】 “丰收成灾”,是说农业收成好些,农村经济反而凋敝,农民反而破产。在旧中国,“丰收成灾”不是艺术的虚构,而是现实的纪录。老作家叶圣陶同志在他的著名短篇小说《多收
<正> 复方树舌片应用于临床治疗肝炎已有几年的历史,临床应用表明,该药具有保肝清热、促进肝内各项代谢、消除病毒、抑制免疫复合物形成及调解机体免疫功能的作用。而肠道内
近些年，随着农村公路建设范围的不断扩大，我国农村公路建设得到了长足发展，而农村公路养护管理问题却日益突显。基于此，本文对当前我国农村公路养护问题进行了深入分析，并结合我国