【摘 要】
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掺杂能明显改变二氧化钒(VO2)薄膜的相变温度,提高薄膜的电阻温度系数(TCR)。研究表明,W、Mo等大尺寸原子掺杂可以降低相变温度,相反Al、P小尺寸原子掺杂则使相变温度升高。
【基金项目】
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山东省自然科学基金(Y2006F55)
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掺杂能明显改变二氧化钒(VO2)薄膜的相变温度,提高薄膜的电阻温度系数(TCR)。研究表明,W、Mo等大尺寸原子掺杂可以降低相变温度,相反Al、P小尺寸原子掺杂则使相变温度升高。综述掺杂改性的一般方法,各种不同掺杂元素对VO2薄膜相变、电学性能和光学性能的影响,介绍掺杂VO2的最新研究进展,并为扩大其应用领域探讨今后的研究方向。
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