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哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果
哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果
来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hlxcun3e5
【摘 要】
:
由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统(简称为MEMS)组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定.
【出 处】
:
哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
微电子机械系统
哈尔滨工业大学
技术鉴定
操作设备
研究所
机器人
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由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统(简称为MEMS)组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定.
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