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采用酸腐多晶Si片的方法，获得了各向同性的表面织构。酸腐蚀液选取HF-HNO3混合溶液，并用H3PO4进行改良。分别利用扫描电镜（SEM）和光谱响应系统，分析了腐蚀后多晶Si片的表面形貌和反射率。结果表明，酸腐多晶Si表面分布均匀的蚯蚓状腐蚀坑，反射率很低，在等离子增强化学气相沉积（PECVD）Si3N4减反射膜后，反射率大大下降。