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在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法，改善了计算收敛性。运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析，通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软X射线-1级衍射效率对光栅结构参数和入射光状态参数的响应程度，给出了一种在使用和制作工艺上都能够接受的光栅技术指标。结果表明，作为闪耀波长为10．33nm的软X射线波段掠入射镀金光栅，采用81°入射的刻线密度为1200l／mm，倾斜角为2°，顶角大于120°的三角槽形光栅较为合适，其效率可