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气体静压节流器的变形量一般在微纳米级，难以采用实验的方法测得。对自主设计的多微通道式气体静压节流器，利用ANSYS软件对其受温度效应的影响进行研究。采用流固耦合分析方法，对供气温度和环境温度均为20℃，供气压强为（0.2-0.6）MPa，气膜厚度为10μm、20μm、30μm、40μm时节流器的温度分布及变形量进行仿真分析。研究结果表明：供气压强越大，气膜厚度越小，温度效应越明显，节流器内部温度和压强的降低引起的节流器变形越大。而温度变化对节流器的影响要明显强于压强变化对节流器的影响。其中，温降引起的最大