【摘 要】
：
针对MEMS(micro-electro-mechanical system)工艺中牺牲层的选择性腐蚀问题,提出了一种判断牺牲层是否完全腐蚀的新方法,解决了这一工艺难点。测定了C6H8O7/H2O2溶液对GaAs的
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所光电子研发中心,中国科学院半导体研究所光电子研发中心,中国科学院半导体研究所光电子研发中心,中国科学院半导体研究所光电子研发中心,中国科学院半导体研究所光电子研发中心,中国科学院
论文部分内容阅读
针对MEMS(micro-electro-mechanical system)工艺中牺牲层的选择性腐蚀问题,提出了一种判断牺牲层是否完全腐蚀的新方法,解决了这一工艺难点。测定了C6H8O7/H2O2溶液对GaAs的腐蚀速率,并采用这种方法选择性腐蚀了一个带有GaAs牺牲层的DBR(distributed bragg reflector)结构,得到一个空气腔结构,结合GaAs的晶体结构,分析了GaAs的各向异性腐蚀特性,为实际MEMS器件的制作奠定了基础。
Aiming at the selective etching of sacrificial layer in MEMS (micro-electro-mechanical system) process, a new method to judge whether the sacrificial layer is completely etched is proposed, which solves the difficulty of this process. The corrosion rate of GaAs in C6H8O7 / H2O2 solution was measured and a distributed bragg reflector (DBR) structure with GaAs sacrificial layer was selectively etched by this method to obtain an air cavity structure. Combining with the crystal structure of GaAs, The anisotropic corrosion of GaAs lays the foundation for the fabrication of actual MEMS devices.
其他文献
【正】 每当雪花飘飘的时候,心情就会慢慢地沉静下来,因为新的一年又要开始了。回想过去的一年,仿佛还在眼前,再想未来的一年,好像有那么一点儿茫然:我该怎么过?这即将来临的
中英关于香港问题的联合声明即将正式签字。当前香港形势怎样?本刊特约记者从香港发来专电分析说:人们对香港前途充满信心。经济情况令人信服地反映出这种趋向。
Sino-Briti
贵州师范学院贵州民族学与人类学高等研究院自从成立伊始,就将中国境内山地民族研究和国际山地民族学研究作为其最为核心的两大重点发展方向来抓,相继设立了国际山地人类学研
Areachap群的Boksputs和Upington地层沿南部非洲纳马夸活动带东缘分布,含斜长角闪岩,其化学成分显示它们是与岛弧有关的岩石的变质产物。 Areachap群Jannelsepan组的主要岩石
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
坐落于北京中关村高科技园区的标志性雕塑是一个 DNA 双螺旋,由此可见 DNA 在生物科学发展以至高科技发展中的重要意义。在高中生物教科书中,DNA 的结构是重点内容之一,它是
中国现代诗歌,在经历了80年代强有力的发展之后,进入90年代转趋平稳。这是喧哗后的平静,骚动后的从容。这种沉着发展的态势得来不易,反思与前瞻在这里停留,可能预示着一个新
本文通过具体实例 ,详尽地分析了语法、语义与语用在英语名词属格中的相互联系与实际运用。借以强调真正理解和恰当使用语言是我们进行言语交流成功的必备要素。
Through co
目的:探讨心源性猝死者心肌细胞中连接蛋白(connexin CX)CX43和原癌基因蛋白(C-JUN)的表达及意义。方法:从2008-2011年青岛市市立医院病理科现有的蜡块中选取心性猝死者40例
来自全国二十五个省、自治区的七十八个城市的市长、副市长最近在北京参加第二期市长研究班。我们采访了其中五位沿海港口城市的副市长,请他们谈谈怎样走好对外开放的第一步