分束差动探测法测量波片的相位延迟

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为提高系统的测量精度,拓宽系统的测量范围,基于偏振调制原理,设计了分束差动法测量波片延迟量的方法和实验系统.测试表明,该系统的测量范围覆盖紫外、可见及近红外区域,也可以用来测量其它相位延迟器的延迟量.对于1/4波片和半波片的测量精度优于0.1%.
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