【摘 要】
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微型齿轮作为微机电系统（MEMS）的关键零部件，齿面磨损是影响其服役性能及失效形式的主要因素之一。为了研究微齿轮齿面磨损机理，基于Archard磨损理论，利用ABAQUS二次开发UMESHMOTION子程序，结合ALE自适应网格技术，建立了微齿轮齿面磨损有限元分析模型，得到了不同啮合周期下的齿面磨损分布规律，并进行了试验验证。基于构建的有限元模型，考虑主、从齿面磨损的相互作用，分析了不同材料性能（
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目（2020YFB2008200）； 留学人员回国创业创新支持计划（cx2019163）～～；
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微型齿轮作为微机电系统（MEMS）的关键零部件，齿面磨损是影响其服役性能及失效形式的主要因素之一。为了研究微齿轮齿面磨损机理，基于Archard磨损理论，利用ABAQUS二次开发UMESHMOTION子程序，结合ALE自适应网格技术，建立了微齿轮齿面磨损有限元分析模型，得到了不同啮合周期下的齿面磨损分布规律，并进行了试验验证。基于构建的有限元模型，考虑主、从齿面磨损的相互作用，分析了不同材料性能（弹性模量）及材料配对方式对齿面磨损分布及大小的影响。研究结果表明，微齿轮齿面磨损最严重的地方发生在靠近齿根的基圆附近，齿顶附近磨损较轻；与材料性能相比，不同材料配对对微齿轮磨损大小影响更显著。
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