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阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量
阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luckkycaroll
【摘 要】
:
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高
【作 者】
:
罗志勇
杨丽峰
顾英姿
郭立功
丁京安
陈朝晖
【机 构】
:
中国计量科学研究院
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
计量学
阿伏加德罗常数
密度基准
五幅算法
单晶硅球
相移法
标准具
Metrology Avogadro constant Density primary
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基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10^-7。
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