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2016年2月16日，中芯国际集成电路制造有限公司（中芯国际／SMIC）宣布，28nm HKMG（高介电常数金属闸极）工艺已经成功流片。中芯国际是中国大陆第一家能够同时提供28nm PolySiON（多晶硅）、28nm HKMG工艺的晶圆代工企业。
中芯国际28nm HKMG工艺成功流片
【摘 要】
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2016年2月16日，中芯国际集成电路制造有限公司（中芯国际／SMIC）宣布，28nm HKMG（高介电常数金属闸极）工艺已经成功流片。中芯国际是中国大陆第一家能够同时提供28nm PolySiON（多晶硅）、2
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2016年3期
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