【摘 要】
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2016年2月16日,中芯国际集成电路制造有限公司(中芯国际/SMIC)宣布,28nm HKMG(高介电常数金属闸极)工艺已经成功流片。中芯国际是中国大陆第一家能够同时提供28nm PolySiON(多晶硅)、2
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2016年2月16日,中芯国际集成电路制造有限公司(中芯国际/SMIC)宣布,28nm HKMG(高介电常数金属闸极)工艺已经成功流片。中芯国际是中国大陆第一家能够同时提供28nm PolySiON(多晶硅)、28nm HKMG工艺的晶圆代工企业。
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