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在低合金钢表面离子束合成金刚石改性涂层,显微硬度达2000 ̄3000kg/mm^2,电阻率达10^8 ̄10^12Ω·cm水平,使其具有优良的耐磨耐蚀性,由于良好的冷却,能量小于1000eV的离子束不会使衬底钢组织产生明显变化,但离子束能量对类金刚石膜显微硬度、电阻率及生长速率具有显著影响。