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蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备
蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liweimin90
【摘 要】
:
用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、
【作 者】
:
冯丽萍
刘正堂
李阳平
陈继权
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
蓝宝石
SIO2薄膜
膜系设计
射频磁控反应溅射
Infrared devicesInfrared radiationLight transmissionMag
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用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆 菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.
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