VLSI成品率预测与仿真

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本文建立IC光刻工艺相关缺陷计算模型和基于Monte Carlo统计成品率计算模型。阐述了集成电路功能优品率仿真系统XD-YES实现,讨论了应用XD-YES实现的功能成品率设计,并给出该系统实用性验证。研究分析表明,其结果与实际结果符合很好。
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