SRAM失效分析

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ahde2006
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1引言目前.能探洲极窄线宽的纳米探针技术取得了许多进展,从而能表征集成电路内单个器件的电气特性。这篇文章将介绍如何用B1500A半导体器件分析仪进行这类测量,我们通过SRAM失效分析说明这项技术,
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