一种新的电子散斑微小振动测量系统

来源 :半导体光电 | 被引量 : 3次 | 上传用户:peterstone138
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给出了一种新的电子散斑微小振动的振幅和相位测量系统,该系统将光学相移器和正弦相位调制器置于参考光路中,因而当被测物体改变时,系统勿需重新标定。采用高精度低压压电陶瓷作为光学相移器和正弦相位调制器,易于实现计算机直接控制,使系统具有很高的抗干扰能力。实验表明,该系统可以方便地对物体的微小振动( 振幅小于30 nm) 进行定量分析。
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