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在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上，重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统，并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析。
硅芯炉托盘控制系统的设计与实现
【摘 要】
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在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上，重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统，并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析。
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年4期
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