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非接触式预对准系统及控制技术研究
非接触式预对准系统及控制技术研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Melaniemei
【摘 要】
:
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆
【作 者】
:
刘玄博
孙广翔
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2014年02期
【关键词】
:
预对准
圆心校正
切边校正
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高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法。之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法。
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