切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:imoogi8406
【摘 要】
:
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性.该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和
【作 者】
:
杨忠山
范子坤
田丰
韩立
【机 构】
:
中国科学院电工研究所,北京长峰声表面公司
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
半导体工艺
声表波器件
电子束刻蚀技术
semiconductor tdeehnology
SAW device
electron beam lithogr
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性.该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程.描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件.
其他文献
圆柱-球体三自由度超声电机的研究
从实现圆柱-球体多自由度超声电机的运动原理和提高其输出性能的角度出发,提出了该种电机设计的基本要求.在此基础上,设计了一种新的电机定子结构,并用有限元法对该定子进行
期刊
多自由度
超声电机
定子
模态
multi-degree of freedom
ultrasonic motor
stator
mode
基于压电陶瓷的结构损伤检测技术
根据压电材料的压电效应,压电陶瓷片(PZT)既可作为传感器又可作为驱动器。将压电陶瓷片粘贴在待测结构的表面,运用压电阻抗技术,对结构中螺栓松动的损伤进行检测分析。实验证明,通
期刊
结构损伤检测技术
压电陶瓷
阻抗法
导纳
螺栓
structure damage
piezoceremic
impedance method
admitta
浅谈银行在促进质量效益型企业发展中的作用
【正】我国经济体制改革的目标是建立社会主义市场经济体制,而市场经济的核心是竞争,企业若想在激烈的竞争中处于不败之地,必须紧紧抓住质量与效益这一根本问题,不断促进自身
期刊
质量效益型企业
商业银行
质量与效益
社会主义市场经济体制
体制改革
市场效益
信贷结构
发展中
国际惯例
产品质量
创新支部活动新方式,开辟“两学一做”学习教育新阵地——以河南农业大学园艺学院“党员农场”为例
高校学生党支部的组织生活是加强学生党员教育、管理、监督的有效方式,是促进党员学习交流、创新提高的重要途径,是充分发挥基层党组织战斗堡垒作用和学生党员先锋模范作用的重要举措。为推动"两学一做"学习教育制度化常态化,严格组织生活制度,河南农业大学园艺学院依托"党员农场",构建双重组织生活体系,创新支部活动新方式,将"学"与"做"真正结合起来。
期刊
两学一做
党员农场
党员
一种采用IDT技术的新型微量液体密度传感器
新型微量液体密度传感器采用压电基片-液体层-压电基片结构。两个叉指换能器(IDT)分别位于压电基片-液体层-压电基片的两个液固界面上,压电基片保持平行且两个IDT处于相对的位置。一定条件之下第一个IDT在射频脉冲的激励下可只向液体层中辐射出高频超声脉冲,该超声脉冲在液体层中来回反射。液体层中来回反射的超声脉冲每次入射到起接收作用的第二个IDT上均有一个电脉冲信号输出。液体层密度值可用超声脉冲在液体
期刊
叉指换能器
液体密度
传感器
interdigital transducer
liquid density
sensor
运用经济规律 搞好城市规划和管理
【正】 (一) 运用经济规律,搞好城市规划与管理的首要要点,是按照社会生产力要求办事。万里副总理曾经指出:“企业要下放,城市管理要高度集中,不能都‘松御’,有些还要绑紧,
期刊
城市管理
城市规划与管理
高度集中
经济规律
管理机关
生产力要求
城市经济发展
辩证关系
城市政府
运用
中国城市科学研究会成立公报
【正】 中国城市科学研究会于一九八四年一月在北京正式成立! 中国城市科学研究会是在中国共产党领导下的群众性学术团体,是城市开发和治理的咨询机构。其主要任务是团结和组
期刊
中国城市科学研究会
城市发展
经济文化
社会发展
城市问题
主要任务
国民经济
社会主义现代化
学术团体
中国共产党领导
把北京打扮得更加美丽——试谈水利在美化城市中的作用
【正】 (一) 在美化首都的活动中,人们常常想到水。水,是人类生存的基本条件,是人类从事经济活动的物质基础,无论对农业、工业、交通运输、生活饮用等等都有不可缺少的和不能
期刊
水利工程建设
精神文明建设
美化环境
水利建设
重要作用
城市水利
密云水库
十三陵水库
经济活动
水工建筑物
国家体改委提出改革进程时间表
【正】我国在今后7年里将分三阶段,跨三大步,到本世纪末初步建立起社会主义市场经济新体制,这是国家经济体制改革委员会最近提出的全面建立新体制的时间表.该时间表是由国家
期刊
进程时间
体改委
社会主义市场经济体制
时间表
产权制度
国有企业
体制改革
实施方案
总体规划
新体制
“计量地理”应改称“数量地理”
【正】 《经济地理》杂志第五卷第二期刊登了林炳耀同志为台湾出版的丁骕先生所著《数量地理》一书所作的书评“喜读丁骕先生的《数量地理》”。书评指出,一个学科应该有科学
期刊
数量地理
多元统计方法
计量单位
地理数据
地理要素
地理分析
地理模型
地理学
经济地理
书评
与本文相关的学术论文