【摘 要】
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基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型.根据薄膜透射光谱数学模型的特
【机 构】
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上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海电缆研究所
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基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型.根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数,并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数.最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数.
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