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0.12μm至1.2μm振动测量技术研究

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wow32167

【摘 要】

：

采用电子散斑时间平均法振动测量原理,通过Bessel函数的余弦近似和对参考振动的振动相位和振幅的控制,并实施三步相移,从而实现了振幅的定量计算,使得振幅在0.12 μm至1.2 μ

【作 者】

：

乐开端 贾书海 谭玉山 

【机 构】

：

西安交通大学

【出 处】

：

西安交通大学学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

相移 振动测量 电子散斑 

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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论文部分内容阅读

采用电子散斑时间平均法振动测量原理,通过Bessel函数的余弦近似和对参考振动的振动相位和振幅的控制,并实施三步相移,从而实现了振幅的定量计算,使得振幅在0.12 μm至1.2 μm间的振动精确定量测量成为可能,其测量精度较云纹估算法有很大提高.该系统具有全场、非接触、测量速度快、测量精度高等优点.

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