【摘 要】
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化学镀钴磷薄膜具有优良的磁学性能.研究了不同的热处理条件下薄膜组织结构对磁学性能的影响.化学镀钴磷薄膜镀态下为单一的α-固溶体,矫顽磁力和矩形比较高,具有磁各向异性.
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化学镀钴磷薄膜具有优良的磁学性能.研究了不同的热处理条件下薄膜组织结构对磁学性能的影响.化学镀钴磷薄膜镀态下为单一的α-固溶体,矫顽磁力和矩形比较高,具有磁各向异性.随着温度的升高,依次析出CoP2和Co2P相,并由密排六方结构的α-Co向面心立方结构的β-Co转变;矫顽磁力经200℃,1 h热处理后达到最大值,随后呈下降趋势,矩形比则在一定范围内波动.
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