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研究了用薄膜ＳｉＯ２作介质的可行性，并对电子束蒸发制备的ＳｉＯ２介质膜进行了微观分析。
ACPDP介质膜的实验研究
【摘 要】
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研究了用薄膜ＳｉＯ２作介质的可行性，并对电子束蒸发制备的ＳｉＯ２介质膜进行了微观分析。
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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液晶与显示
【发表日期】
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1999年3期
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