【摘 要】
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静电伺服型三轴硅加速度计ＫｅｉｊｉＪｏｎｏ１．前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用，但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前，三种工作原理的硅加速度计
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静电伺服型三轴硅加速度计ＫｅｉｊｉＪｏｎｏ１．前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用，但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前，三种工作原理的硅加速度计已经研制成功，即压阻式、电容式和静电式。商品化的压阻加速度计频率...
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