论文部分内容阅读
本文评述了近年来着重研究的COP、LSTD、FPD和BMD等硅中的微缺陷。介绍了硅片在氢或氩气中高温退火对消除硅中微缺陷 ,提高GOI合格率的实验结果。研究表明 ,硅片的高温退火是提高硅片质量的一种技术途径。
硅中的缺陷和硅片热处理
【摘 要】
：
本文评述了近年来着重研究的COP、LSTD、FPD和BMD等硅中的微缺陷。介绍了硅片在氢或氩气中高温退火对消除硅中微缺陷 ,提高GOI合格率的实验结果。研究表明 ,硅片的高温退火是
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院
【出 处】
：
上海有色金属
【发表日期】
：
2000年04期
其他文献
本文从作者本校的新能源汽车检测与维修专业的建设出发,从人才要求、需求趋势、专业建设特色等方面进行阶段性总结,并探讨未来专业发展方向。
湖南省儿童医院骨科是中南地区规模最大、技术力量最雄厚的儿童先天性肢体畸形矫治中心和儿童创伤治疗中心。目前设病床68张，医生12人，其中主任医师3名，副主任医师3名，主治医师3
目的观察比较西医常规治疗配合中药与单纯西医常规治疗对早期糖尿病肾病(DN)的疗效.方法60例患者随机分为治疗组与对照组各30例.治疗组西医常规治疗加用以益气固本,化瘀降浊
《山东工业技术》杂志是国家新闻出版总署批准,由山东省经济和信息化委员会主管,山东省企业技术进步促进中心主办的省级期刊。国际标准连续出版物号：ISSN 1006-7523;国内统一
应用黄芪水提物与不同浓度的α-葡萄糖苷酶,不同浓度的底物PNP-glucoside进行反应,研究中药黄芪中α-葡萄糖苷酶抑制剂的抑制活性及其对正常小鼠血糖和糖耐量的影响.通过绘制
日本最近研发出新一代太阳能瓷砖。这种瓷砖在坯体表面预先涂以磷硅酸盐玻璃或硼酸盐玻璃为基材的涂剂，烧成．再在其上面复合多层有机硅层、氧化锡或氧化锢质透明导电膜和防止反
<正>2012年,面对趋紧的货币信贷政策和起落不定的市场行情,江苏省无锡市分行紧扣区域经济特点,主动开展客户营销,积极支持实体经济发展,促进了全行各项业务快速发展。截至12
目的 :研究黄芪对糖尿病大鼠 (MD)血糖及脂质过氧化作用的影响。方法 :黄芪治疗糖尿病大鼠 5周后 ,测定全血血糖水平、血清胰岛素活性、脂质过氧化物丙二醛 (MDA)水平 ,以及
安全生产对任何企业来说都至关重要,容不得一丝一毫的松懈和马虎。但是近年来,我国一些化工企业由于安全意识不高、专业人员缺乏以及安全投入不足等原因,频繁发生安全事故。