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采用磁控溅射与液氮冷凝方法,在表面沉积有方华膜的电镜载网上制备支撑纳米Cu颗粒;对样品的微观结构进行了TEM/ED观察。结果表明,用该方法制备的Cu颗粒呈球状,其尺寸基本服从正态分布。当Cu颗粒的直径为2nm时,其电子衍射花样为弥散环;当其直径大于8nm时,则一般表现出晶体结构。具有晶体结构的Cu颗粒晶格常数随其直径大小的不同,呈现出不同程度的收缩效应,与块状Cu材料相比,最大收缩量为5%。