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本文讨论了烧结工艺对可控硅参数的影响，并对存在的问题进行分析，通过对烧结工艺的改进，使工艺中存在的一些问题得到了解决从而提高了产品的合格率。
烧结工艺对可控硅参数的影响
【摘 要】
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本文讨论了烧结工艺对可控硅参数的影响，并对存在的问题进行分析，通过对烧结工艺的改进，使工艺中存在的一些问题得到了解决从而提高了产品的合格率。
【机 构】
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辽宁大学电子科学与工程系
【出 处】
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辽宁大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年1期
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