【摘 要】
：
用氨气对热生长的二氧化硅膜进行了氮化处理,测试了膜的电学特性,并研究了工艺对它们的影响。实验发现,热氮化二氧化硅膜兼有二氧化硅与氮化硅膜的优点,而且界面电荷在较大范
【机 构】
：
南京工学院电子工程系,南京工学院电子工程系,南京工学院电子工程系 研究生,讲师,副教授
论文部分内容阅读
用氨气对热生长的二氧化硅膜进行了氮化处理,测试了膜的电学特性,并研究了工艺对它们的影响。实验发现,热氮化二氧化硅膜兼有二氧化硅与氮化硅膜的优点,而且界面电荷在较大范围内具有可控的特点。用AES表面分析技术研究了热氮化二氧化硅膜的结构。还探讨了二氧化硅膜热氮化的机理。
The thermally grown silicon dioxide films were nitrided with ammonia, the electrical properties of the films were tested, and the effects of the processes on them were investigated. The experiment found that the thermal nitride silicon dioxide film has both the advantages of silicon dioxide and silicon nitride, and interface charge in a larger range with controllable features. The structure of the thermal nitriding silicon dioxide film was studied by AES surface analysis. The mechanism of thermal nitriding of silicon dioxide film was also discussed.
其他文献
内容简介夜晚某大户人家内,主人连修被杀,《山河春意图》卷三被抢。侦探路子明得知,此图是慈禧在世时让连修等四位画师分别完成,图中暗藏宝藏的掩埋地点,四卷画凑齐便会呈现
黄垟——中国四大钼都之一、革命老区,丽水市青田县工业强乡,地处县城东北部,东连温州永嘉桥头,西接330国道,北靠缙云县,总面积为43平方公里。下辖8个行政村,人口5528人,其中
1概况游梁式抽油机具有历史悠久、结构简单、使用可靠、操作维护方便的特点。在自然环境中能长期、可靠、安全地工作。随着抽油机设备的长期运转,故障也不断出现,根据自己在
这是我有生以来看的第一场IMAX电影，在本地科学中心不大的穹幕底下，稀稀落落的观众，一半是小孩。 片子讲述两个抚养野生动物孤儿的中心，一个在印尼的加里曼丹岛，抚养红毛猩猩孤儿，另一个在肯尼亚，抚养孤儿象和犀牛，动物能够自食其力时，再把它们放回大自然去。中心的创办者分别是Birute Galdikas和Daphne Sheldrick，两个女性，两个母亲。 Birute Galdikas是人类学
本文根据变分原理,推导并计算出了波导纵向金属膜片取任意模式数时的等效网络。讨论了模式数的选取与等效电路精度的关系。利用这个等效电路,从传输参量的观点出发,导出了这
公路绿化是我区“三北”防护林体系工程建设的一个组成部分。解放后,河套地区的公路绿化取得了显著成绩。1975年以来,各旗县公路段、工区又在公路两侧开展开沟引水造林,使宜
我一向都很胆小,从来不敢主动去摸小狗小猫.可是自从见了那只小灰狗,我便再也不怕小动物了,每次见到它们,还会情不自禁地和他们玩上一会儿.因为直到现在,我还一直忘不了那只
改革开放进入共建“和谐社会”新时期,国企的使命不再是单纯追求利润最大化的利益集团,而更讲求在科学发展观统领下使“三大责任”的履行互促互补,齐头并进。
Reform and op
自新《体育与健康课程标准》实施以来,体育课堂教学一改过去以教师为中心的单一讲授模式,而是以学生发展为中心,指导学生自主学习,积极参加锻炼.特别是针对小学低年级学生,可
本文通过采用文献资料法、分析比较法就城市社区体育管理体制进行全面分析,进一步阐述了对城市社区体育管理体制要分阶段、分层面地逐步推进,建立多系统、多层次的行政性与社