显示器与RF结合的MEMS新器件发展现状

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据《NIKKEI MICRODEVICES》2007年第6期报道,在光MEMS领域目前仍然是美国德州仪器的DLP(Digital Light Processing)处于领先地位。仰视显示器等的新产品已接近实用化水平。在微流体领域聚合物是其主要材料。在RFMEMS领域,主要是两个产品已进入量产的水平,一个是替代通信应用陶? According to “NIKKEI MICRODEVICES” No. 6, 2007 reported that in the field of optical MEMS is still the Texas Instruments DLP (Digital Light Processing) in a leading position. Look up the new products such as monitors have been close to practical level. Polymer is the main material in the field of microfluidics. In the field of RFMEMS, mainly two products have entered the level of mass production, one is the alternative communication applications Tao?
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