【摘 要】
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采用平面丝网印刷工艺制备ＳｎＯ２厚膜气敏试样，分别在不同烧结温度和保温时间下于空气中烧成，测量试样的灵敏度和稳定性，并通过复阻抗分析方法，研究了ＳｎＯ２气敏元件烧结工艺和电性能的关系，探
【机 构】
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中山大学物理系,广州师范学院物理系
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采用平面丝网印刷工艺制备ＳｎＯ２厚膜气敏试样，分别在不同烧结温度和保温时间下于空气中烧成，测量试样的灵敏度和稳定性，并通过复阻抗分析方法，研究了ＳｎＯ２气敏元件烧结工艺和电性能的关系，探讨烧结工艺对敏感材料微结构的影响，结果表明，适当调整结工艺参数可以使元件既有较高的气体灵敏度又有良好的长期稳定性，复阻抗分析表明，随保温时间延长，试样的电阻－电工线半圆弧的弥散角逐渐减小至零，说明适当延长保温时间使
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