多物理场下多因素交互的TTSV正交试验分析

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该文研究了TTSV间隙布置方法下三维集成电路的温度场与应力场。应用正交试验设计的方法,对电路的温度场与应力场进行仿真,并通过方差数值分析,客观地对TTSV的多个因素进行单独分析和多因素交互分析。从而能在电路芯片的物理设计阶段,通过优化参数数值,使芯片的温度与应力值显著下降。
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